【印聯(lián)傳媒資訊】根據(jù)外電報(bào)導(dǎo)，美國(guó)能源部旗下的布魯克海文國(guó)家實(shí)驗(yàn)室研究人員，日前宣布成功采用電子束印刷技術(shù)，成功制造了尺寸只有 1 納米的印刷設(shè)備。 據(jù)了解，這個(gè)實(shí)驗(yàn)室的研究人員采用電子顯微鏡，制造出比普通電子束印刷(EBL)技術(shù)能做出的更小尺寸。 這使電子敏感性材料在聚焦電子束的作用下，尺寸得以大大縮小，達(dá)到可操縱單個(gè)原子的程度。 而這項(xiàng)技術(shù)與設(shè)備的誕生，則可極大的改變材料特性，從導(dǎo)電變成光傳輸，或這兩種狀態(tài)下交互執(zhí)行。
就目前發(fā)表的內(nèi)容觀察，1 納米印刷使用的是掃描投射電子顯微鏡(STEM)，隔開(kāi) 11 納米，這樣一來(lái)每平方公厘就能實(shí)現(xiàn) 1 兆個(gè)特征點(diǎn)(features)的密度。 再透過(guò)偏差修正 STEM 在 5 納米半柵極在氫氧硅酸鹽類(lèi)抗蝕劑下，實(shí)現(xiàn) 2 納米的分辨率。
雖然，這也不是科學(xué)家第一次達(dá)到 1 納米級(jí)別的技術(shù)，2016 年美國(guó)能源部下屬的另一個(gè)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室也宣布發(fā)展出 1 納米制程技術(shù)。 這部分使用的是納米碳管和二硫化鉬等新材料。 不過(guò)，不管是哪一邊開(kāi)發(fā)出的新技術(shù)與設(shè)備，就目前觀察，這項(xiàng)技術(shù)都不會(huì)很快量產(chǎn)。 因?yàn)榧{米碳管晶體管跟 PMMA、電子束光刻一樣，跟目前的半導(dǎo)體制程技術(shù)有明顯差異。 因此，要讓廠商一下子全部淘汰現(xiàn)有設(shè)備，這還需要一段時(shí)間布局。
本站聲明：本網(wǎng)站除標(biāo)注來(lái)源【印聯(lián)傳媒】之外，其余文字圖片均來(lái)自網(wǎng)絡(luò)，如有侵權(quán)，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我們，我們將會(huì)在第一時(shí)間進(jìn)行刪除！編輯部聯(lián)系電話：0755-8268 2722。
關(guān)于我們
聯(lián)系我們
設(shè)為首頁(yè)
加入收藏